計畫名稱：用於次微米精度之光學尺雷射蝕刻設備技術開發

申請機構：京碼股份有限公司

學研機構：財團法人國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心

計畫年度：112

計畫摘要：本計畫目的為開發用於次微米精度之光學尺雷射蝕刻設備。圓盤光學尺(Drum scales)或直線光學尺(Linear scales)是機械加工設備中的一項量測裝置，用於檢測設備中機構回授位移的方向和距離，其精度對於機械加工品質與效率有決定性的影響。近年臺灣在智慧製造發展趨勢下，應用於前端製程之雷射逐年增加。然而，相對於世界各國，國內對於精密雷射機具之研製則較不積極。國內精密雷射加工機具至今仍大多仰賴進口，109年雷射機具進口值高達220億新台幣，同年出口值卻低於新台幣22億元。少部分國內設備商，雖有自主研發精密雷射加工機具，但最高精度皆落在數μm上下，尚未達到精密光學尺製造需求。 次微米級雷射蝕刻在光學尺領域有其產業主要應用，包括主軸馬達、扭力馬達、伺服馬達等圓盤光學尺，或是線性馬達、直線運動滑軌等直線光學尺，傳統上是以黃光製程(Photolithography)來圖形化(Patterning)、化學蝕刻製作線條蝕刻陣列，黃光製程較為繁複，並且製程彈性較小，每個設計更動都需要製作新的光罩，使用黃光製程製作可靠的線條蝕刻陣列，有材料限制多。本計畫導入雷射製程優勢，開發可快速形成微米或次微米等級蝕刻陣列的雷射系統與製程技術，本計畫開發紅光雷射(IR laser)搭配光罩的面型直寫加工系統和製程技術。